普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵

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关键词：普发 HiPace 涡轮分子泵

摘要

普发真空 Pfeiffer HiPace 系列涡轮分子泵，搭载成熟 Holweck 级设计，抽速大、压缩比高，实现洁净无油高真空环境。具备低振动低噪音特性，支持多方位安装，启动速度快。内置驱动与故障诊断功能，可选耐腐蚀涂层，维护简便。适配半导体、真空镀膜、质谱科研等场景，多种 ISO-K、CF 法兰可选，是高真空系统可靠主力泵源。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵，属于高真空获得设备。这类泵通过高速旋转的涡轮叶片将气体分子排出，可实现超高真空环境（极限真空度可达 10⁻¹⁰ mbar 级别），广泛应用于半导体制造、真空镀膜、科学研究（如粒子物理实验）等领域，是构建高真空系统的核心设备之一。

普发 HiPace 涡轮分子泵

涡轮分子泵的抽速曲线（性能曲线）图。

图中展示了不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同压力（p，单位 hPa）下的抽速（S，单位 l/s）变化关系，用于直观体现涡轮分子泵对不同气体的抽气性能，是评估和选择涡轮分子泵的重要技术参考。

普发 HiPace 涡轮分子泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）涡轮分子泵的机械图纸，属于高真空设备的技术资料。图纸标注了尺寸参数（如 119.5、Ø86 等）、接口规格（HV DN 63 ISO-K、VV DN 16 ISO-KF）及安装特征（M5 螺纹孔），用于指导该涡轮分子泵的生产、安装及与真空系统的集成，保障其在半导体、科学研究等场景中实现高真空环境的构建，是涡轮分子泵工程应用的关键技术文件。

普发 HiPace 涡轮分子泵