TXL-840D 适用于洁净环境的氦质谱泄漏检测仪,能为真空系统和密封件提供快速、准确的泄漏检测能力。具备无油涡旋泵、氧化钇涂层离子源及模块化设计,在航空航天、半导体及制冷领域应用广泛,确保设备运行的可靠性与稳定性。