普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵
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分子泵维修
摘要
德国普发 HiPace 系列涡轮分子泵，拥有复合轴承与五轴磁悬浮两种结构，采用激光动平衡转子，抽速大、压缩比优异，启动迅速，低振动低噪音pfeifferva...。支持多类法兰接口，可选耐腐蚀涂层版本，维护便捷，自带状态监测与远程通讯功能。广泛适配质谱、电镜、镀膜、半导体检漏、科研超高真空系统，型号齐全，整机及配套备件均可供应。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵，是高真空系统的核心抽气设备，具备高抽速、紧凑设计的特点，适配半导体、科研实验室等高精度真空制程场景，可实现超高真空环境的抽气需求。
普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的多气体抽速特性曲线，展示了 He、H₂、N₂、Ar 四种气体在不同压强下的抽速变化：高真空段（<10⁻³hPa）抽速稳定，轻气体（如 H₂）随压强上升抽速衰减更显著，是真空系统选型、匹配气体工况的核心性能参考图。
普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图，标注了该分子泵的主接口（DN63 ISO-K）、辅助接口（DN16 ISO-KF）、安装孔位（M5 螺纹）及外形尺寸，是该分子泵与真空系统集成安装的技术参考图纸。
涡轮分子泵机身小巧、性能强劲，氮气最高抽速可达 32 l/s，同级别拥有优异压缩比。搭载 TC 80 集成电子驱动单元，整机轻巧，适配便携场景，支持任意方位安装，可便捷集成小型分析系统。维护间隔久，整机使用寿命长，配套配件齐全便于功能拓展，是科研分析、小型高真空设备的优选泵体。
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