磁悬浮复合分子泵TURBOVAC MAG W 1300 iP

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关键词: 集成驱动分子泵

摘要

莱宝 TURBOVAC MAG W 1300 iP(GJC)磁悬浮复合分子泵

这是莱宝 MAGiNTEGRA 水冷集成驱动磁悬浮复合分子泵,进气法兰 DN200 ISO-F,前级接口 DN40 KF,额定功率 750W,单相 220-240V 供电,氮抽速 1300L/s,极限真空可达 1×10⁻⁶ mbar,5 轴磁悬浮无油、低振,支持任意方位安装,自带 EtherNet/IP 通讯,防护 IP54。适配镀膜、显示、科研分析等高洁净高真空工况,GJC 为版本标识,泵体集成控制器,省去外置驱动箱,运维简单,对粉尘与工艺冲击耐受更强,长期运行稳定,适合连续量产真空设备。

产品介绍

磁悬浮复合分子泵TURBOVAC MAG W 1300 iP

莱宝 TURBOVAC MAGIntegra 磁悬浮涡轮分子泵,配套 MAG.DRIVE iM 驱动控制器,采用磁悬浮无接触轴承,泵腔内部无油、不存在机械摩擦。整机振动微弱,运行噪音低,有效延长设备维护周期。自带吹扫气接口,可防护粉尘及腐蚀性工艺气体,多种通讯接口方便与设备联动控制。可稳定获取超高真空,多用于半导体生产、光学镀膜、精密科研装置,整体可靠性高,是中大抽速工况下性能出众的真空核心泵件。


集成驱动分子泵


莱宝 MAG W1600 磁悬浮分子泵 DN200 ISOF 法兰尺寸图纸,同时提供毫米与英寸双单位参数,完整标注法兰、泵体、驱动单元及前级口、吹扫气接口位置。图纸预留冷却盘管安装空间,便于前期设备设计、机架开孔与装配核对。ISOF 法兰拆装便捷,磁悬浮无接触结构振动小、寿命长,适配半导体、光学镀膜等中大抽速的超高真空工业应用场景。



集成驱动分子泵


莱宝 MAG W1300 磁悬浮涡轮分子泵抽速特性曲线图,展示氮气、氩气、氦气、氢气在不同入口压力下抽气性能。该泵抽速可达 1300L/s,高真空段抽速输出平稳,轻重气体抽除能力均衡。采用磁悬浮无接触轴承,内部无油、无机械磨损,整机振动小,设备使用寿命长。配置吹扫气接口,可抵御粉尘与腐蚀性工艺气体,多通讯接口便于系统集成。多用于半导体、光学镀膜、科研超高真空设备,性能稳定,是中等抽速真空工艺的可靠泵源。


集成驱动分子泵

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