普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵
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摘要
普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵 普发真空 HiPace 涡轮分子泵，可选混合轴承与磁悬浮轴承两种结构，低振动低噪音，支持任意方向安装。创新转子设计抽速大，气体吞吐能力强，带 Holweck 级，氢气压缩性能优异。耐腐蚀涂层版本适配腐蚀工况，启动迅速，维护便捷。广泛用于质谱、电镜、半导体镀膜、检漏等高真空 / 超高真空科研与工业场景。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵，属于高真空获得设备。这类泵通过高速旋转的涡轮叶片将气体分子排出，可实现超高真空环境（极限真空度可达 10⁻¹⁰ mbar 级别），广泛应用于半导体制造、真空镀膜、科学研究（如粒子物理实验）等领域，是构建高真空系统的核心设备之一。
涡轮分子泵的抽速曲线（性能曲线）图。
图中展示了不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同压力（p，单位 hPa）下的抽速（S，单位 l/s）变化关系，用于直观体现涡轮分子泵对不同气体的抽气性能，是评估和选择涡轮分子泵的重要技术参考。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）涡轮分子泵的机械图纸，属于高真空设备的技术资料。图纸标注了尺寸参数（如 119.5、Ø86 等）、接口规格（HV DN 63 ISO-K、VV DN 16 ISO-KF）及安装特征（M5 螺纹孔），用于指导该涡轮分子泵的生产、安装及与真空系统的集成，保障其在半导体、科学研究等场景中实现高真空环境的构建，是涡轮分子泵工程应用的关键技术文件。
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