普发真空（PFEIFFER）HiPACE 系列涡轮分子泵
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分子泵维修
摘要
普发 HiPACE 系列涡轮分子泵 普发 HiPACE 系列高性能涡轮分子泵，覆盖多种规格，H 款为超高压缩比机型，对轻质气体压缩表现突出，可实现超高真空。搭载 TC 集成驱动模块，支持任意方向安装，振动低、运行稳定。广泛适配质谱、镀膜、科研实验等真空设备，配套密封气阀、密封件等丰富配件，现货供应。
产品介绍
普发真空（PFEIFFER）HiPACE 系列涡轮分子泵，是高 / 超高真空系统的核心抽气设备，集成了多种控制接口（如电源、通信接口），常用于半导体制造、科研真空装置等场景。
普发真空 HiPACE 系列涡轮分子泵的抽速 - 压力特性曲线，它展示了该泵对 N₂、He、H₂、Ar 等不同气体，在不同入口压力（单位 hPa）下的抽速（单位 L/s）变化规律，是评估其真空抽气能力的核心技术图表。
普发真空 HiPACE 系列涡轮分子泵的安装尺寸图，标注了泵体的核心规格：包含 DN160 ISO-K 高真空接口、DN25 ISO-KF 辅助接口，以及 M8 安装孔的布局、各部位的尺寸参数，是真空系统安装该泵的关键参考图纸。
普发 HiPace 700 涡轮分子泵
结构紧凑、性能强劲，氮气最高抽速 685 l/s，搭载 TC400 集成驱动。低振动、低磁场输出，满足精密分析仪器严苛使用要求，保障检测稳定。可搭配多样拓展配件适配不同工况，安装调试便捷，真空输出稳定可靠。
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