中科科仪 CXF 系列磁悬浮分子泵,含 200/250/320 三大型号,抽速覆盖 1400-3000L/s,极限真空 10⁻⁷Pa。磁悬浮轴承无油无摩擦,适配半导体、镀膜、科研等高洁净场景。水冷设计稳定耐用,配套专用控制器,支持氮气 / 氩气 / 氦气抽排,是国产高真空设备方案。
普发真空 ATH-M 系列磁悬浮涡轮分子泵,高气流量适配非加热与腐蚀工况,支持 85℃高温运行。集成驱动电子设备,即插即用、体积紧凑,DN320 型号高度不足 400mm。5 轴磁悬浮无磨损免维护,启停仅需 8 分钟,低功耗、低耗水,适配严苛工业高真空应用。
普发真空 ATH500M 系列涡轮分子泵,德国原装,5 轴磁悬浮轴承设计,无油。氮气抽速最高 550L/s,极限真空 < 10⁻⁸mbar,低振动低噪音。集成驱动,体积紧凑,任意角度安装,水冷 / 风冷可选。MT 型带加热,适配腐蚀工况,广泛用于半导体、科研等高真空领域。
普发真空 ATH 500M 系列涡轮分子泵,搭载 5 轴磁悬浮轴承与阻力级设计,氮气抽速最高 550L/s。集成驱动电子装置,结构紧凑,支持任意方位安装。可选水冷 / 风冷与远程控制,MT 型适配腐蚀工况。符合 CE 与 RoHS,无油洁净、低振低噪,适配半导体、镀膜及科研超高真空场景。
德国普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵与真空阀门集成单元,高抽速、低振动、低噪音。采用复合 / 磁悬浮轴承,耐用可靠、维护周期长Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions。集成智能驱动与阀门,紧凑一体、安装灵活。适配半导体、镀膜、分析仪器等高 / 超高真空场景。
普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵,德国原装,高真空与超高真空核心设备。采用复合 / 磁悬浮轴承,专利激光平衡技术,振动、静音运行Pfeiffer 普旭。抽速覆盖广,压缩比高,极限真空可达 10⁻¹¹mbar 级Pfeiffer 普旭。结构紧凑、启动快,维护周期长,适配半导体、质谱、科研等...
普发真空 SplitFlow 系列涡轮分子泵,德国原厂精密制造,专为多室高真空场景设计。单泵替代多立泵,结构紧凑、集成驱动、任意角度安装。混合轴承设计,抽速高、压缩比大、振动低、能耗省。适配质谱分析、电子显微镜、氦检等设备,是稳定的超高真空核心部件。
普发真空 Split Flow 系列分流式涡轮分子泵,多真空口分流设计,单泵替代多泵,紧凑省空间。混合轴承长寿命、高抽速高压缩比,可达高 / 超高真空。集成控制器、IP54 防护,运行稳定安全。适配质谱、电镜、检漏等精密分析场景,可靠灵活集成、降本增效。
普发真空 Split Flow 系列分流型涡轮分子泵,德国原装分流创新设计,一机实现多腔体独立抽气,替代多泵系统。混合轴承长寿命,达超高真空,抽速、压缩比优异。结构紧凑小巧、低振动低噪,集成控制器、IP54 防护。适配质谱、检漏、电镜等分析场景,安装灵活、稳定可靠。
普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵,适配高 / 超高真空场景,采用混合 / 磁悬浮轴承,低噪低振、寿命长。创新转子设计,抽速覆盖 10–2700L/s,极限真空达 10⁻¹⁰hPa 级,对小分子气体压缩比优异。结构紧凑、可任意安装,集成驱动与智能监控,适配半导体、镀膜、质谱、电子显微镜等领...
本产品为美国KRI原厂离子源,包含栅网式、无栅端霍尔等多个系列,覆盖KDC、RFICP、eH等型号,可用于薄膜沉积、表面处理、离子刻蚀等工艺,适配半导体、精密光学、光伏、航空航天等多个行业,厦门太星机电(Xiamen Taixing Electromechanical Co., Ltd.)可提...