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氦质谱检漏仪离子源灯丝与电极料号对照:ASM 310 / 340 / 380 与 3G、3G.2 分析池

2026-09-22 　来自: 厦门太星机电有限公司 浏览次数:2

氦质谱检漏仪的离子源灯丝是通电发热的钨/铱丝,属于必然消耗的件。在我们的供货记录里,检漏仪相关件出现最多的就是灯丝 —— 129108S 三十次、053146 二十三次。

一、灯丝与电极料号对照

料号说明适配
129108S铱灯丝(Iridium Filament)普发/阿尔卡特 ASM 310、ASM 340、ASM 380 等 3G 平台检漏仪
114864S离子源灯丝同上,ASM 310 / 340 / 380 系列
053146离子源灯丝总成(Ion Source Filament Assembly)分析池用
053146 C离子源灯丝总成(国产件)同上
1196413G.2 分析池提取电极(Cell Extraction Electrode)3G.2 版本分析池
O100RFThO2Ir 灯丝SRS 残余气体分析仪(RGA)
B8199999EU离子源总成(完整)残余气体分析仪
ST0908L012灯丝套件—

同一料号会有原厂件和国产 OEM 件两种(例如 129108S 与 129108S OEM、053146 与 053146 C)。两者在寿命和一致性上有差别,订件时要说清要哪一种,别只报料号。

二、灯丝坏了是什么表现

直接烧断:开机自检过不去,仪器报离子源/灯丝故障,通常不难判断。
没断但衰减:这种更麻烦 —— 仪器能开机、能校准,但灵敏度掉、标准漏孔校准值越来越低、响应变慢。很多人会先怀疑前级泵或分子泵,其实是灯丝老化。
污染:抽过含油、含溶剂的工件后,离子源会积碳,表现和灯丝衰减很像,但清理离子源就能恢复,不用换灯丝。

三、换灯丝之外还要看的三处

1. 提取电极(如 3G.2 的 119641):和灯丝在同一个分析池里,一起积污。
2. 标准漏孔:漏孔里的氦会随时间漏完,校准值漂移。灯丝换了还校不准,先怀疑漏孔。
3. 前级真空:分析池要达到工作真空才能点火。前级泵油变质或分子泵性能下降,表现出来也是「检不到」,和灯丝问题容易混。

四、ASM 340 干泵版与油泵版

ASM 340 有干泵版(订货号 KSBA 开头)和油泵版(JSVA 开头)两种前级配置。检测单元和灯丝基本通用,但前级泵、油路及相关维修件完全不同。报修和订备件时按机身订货号确认,光说「ASM 340」不够。

常见问题

检漏仪灯丝多久换一次?

没有固定周期,取决于开机时长和被检工件的洁净度。抽过含油、含溶剂工件的仪器,离子源积污快,灯丝寿命明显缩短。判断依据是表现:开机报灯丝故障是断了;灵敏度持续下降、校准值越来越低,是老化或积污。

129108S 的原厂件和国产件有什么区别?

同一料号有原厂件与国产 OEM 件两种,在寿命和批次一致性上有差别。订件时要说清要哪一种,只报料号会拿错。

换了灯丝还是检不到漏,可能是什么?

按顺序查:一、标准漏孔是否已到期(氦漏完了,校准值漂移);二、离子源与提取电极是否积污(清理即可,不必换件);三、前级真空是否够(前级泵油变质或分子泵衰减,分析池到不了工作真空);四、进气路本身有没有堵或漏。

本文的型号与料号取自厦门太星机电实际发生过的供货记录,不是抄的样本目录。本文没列到的料号,或者要确认适配关系,把设备铭牌和旧件上的号发给我们即可。
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关键词： 检漏仪灯丝 129108S 053146 ASM340灯丝

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