普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵
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摘要
普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵，是高真空领域的核心设备：搭载涡轮叶片技术，抽速覆盖宽量程，极限真空达 10⁻¹¹mbar 级，体积紧凑适配各类腔体，兼具低振动、长寿命优势，广泛适用于半导体制程、科研仪器、镀膜设备等场景，是高真空系统的可靠动力选择。
产品介绍
普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵，是超高真空系统的核心设备，通过高速涡轮叶片输运气体分子以获得高真空环境，侧边的接口模块用于实现控制信号、供电等连接，常用于半导体制造、科研实验等场景的真空系统中。
普发 HiPace 系列涡轮分子泵的抽速特性曲线，它展示了 N₂、He、Ar、H₂等不同气体在不同压强（单位：hPa）下的抽速（单位：l/s）变化规律，是评估该系列分子泵抽气性能的核心图表，用于真空系统的选型与性能匹配分析。
普发 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图纸，标注了该分子泵的接口规格（如 DN 100 ISO-K 进气口、DN 16 ISO-KF 排气口）、安装孔位（M8 螺栓）及各部位尺寸参数，用于指导其在真空系统中的安装适配。
电商详情页精简版
普发真空 HiPace 系列涡轮泵是坚固高性能的无油涡轮泵。它搭载复合轴承或磁悬浮轴承系统，搭配经激光平衡的精密转子，外壳通过多重安全认证，IP54 防护适配恶劣工况。转速最高达 90000rpm，极限真空达 10⁻¹¹mbar，可免维护运行五年，适配半导体、真空镀膜等多领域稳定作业。
工业客户推广版
专为严苛工业场景打造的普发 HiPace 系列涡轮泵，凭坚固设计与强悍性能出圈。其混合轴承由陶瓷球轴承与永磁径向轴承组合而成，抗振动耐损耗，再加上高性能润滑剂加持，大幅提升耐用性。抽速覆盖 10 - 2700 升 / 秒，小分子气体压缩比优异，还带自诊断功能，轴承可现场更换，能最大限度减少生产中断，是高真空工艺的可靠之选。
小型设备适配版
普发 HiPace 系列涡轮泵兼顾紧凑身形与坚固高性能。部分型号小巧轻便可集成到便携式设备，采用专利激光平衡技术降低振动噪音。AccessLink 接口可自动识别附件，开机即能用，新型润滑油让它抗老化、耐高温，即便在极端条件下也能稳定输出高真空，适配质谱分析、电子显微镜等振动敏感型应用。
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