ATH 1600 M 是普发真空（Pfeiffer Vacuum）生产的一款涡轮分子泵
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摘要
普发真空 ATH 1600 M 涡轮分子泵，性能卓越。采用先进技术，抽气速度快，能高效营造高真空环境 。结构紧凑耐用，维护便捷。适用于科研、半导体制造等多种领域。选择它， 为您的真空需求提供稳定可靠的解决方案，开启高效真空作业新体验。
产品介绍
ATH 1600 M 是普发真空（Pfeiffer Vacuum）生产的一款涡轮分子泵。
工作原理
涡轮分子泵是一种高速旋转的真空泵，通过高速转动的转子叶片与气体分子碰撞，将气体分子驱向泵的出口方向， 从而达到抽气的目的，以获得高真空或超高真空环境。
性能特点
高抽速：能够快速有效地抽除气体，满足对真空度和抽气速度要求较高的应用场景，比如在半导体制造过程中，需要快速建立并维持稳定的真空环境， 它可以高效完成这一任务。
极限真空度高：可以达到较高的极限真空水平， 能够满足像电子显微镜、真空镀膜、高能物理实验等对真空度要求极为苛刻的工作条件。
运行稳定：采用先进的设计和制造工艺，具备良好的稳定性和可靠性，降低因泵故障导致的设备停机风险。
低振动和低噪音：在运行过程中产生的振动和噪音较小，有利于保障工作环境的舒适性，同时也减少对周边精密设备的干扰。
应用领域
半导体行业：用于半导体芯片制造过程中的光刻、蚀刻、薄膜沉积等工艺环节， 提供稳定的真空环境，确保工艺的精确性和产品质量。
科学研究：在物理、化学、材料科学等科研领域， 如分子束外延、真空电子器件研究等实验中，为实验提供高真空条件。
真空镀膜：在光学镀膜、装饰镀膜等真空镀膜行业，帮助建立和维持镀膜所需的真空环境，提高镀膜质量和均匀性 。
分析仪器：为质谱仪、电子能谱仪等分析仪器提供真空环境，保证仪器的正常运行和检测精度。
涡轮分子泵（如普发真空的涡轮分子泵等相关型号）对不同气体（氮气N2、氦气
He、氢气H2、氩气Ar）的抽速 - 入口压力特性曲线。
曲线解读
横坐标（p）：表示泵的入口压力，单位是百帕（hPa）。
纵坐标（S）：表示泵对相应气体的抽速，单位是升每秒（l/s）。
不同气体曲线：不同颜色曲线分别对应不同气体， 能直观展现出在不同入口压力下，涡轮分子泵对各气体抽速的变化规律。例如，从曲线可看出，在一定压力范围内，涡轮分子泵对氮气的抽速相对较高，而对氢气等气体抽速有不同的变化趋势。
作用
这类曲线主要用于帮助用户了解涡轮分子泵在不同工作压力和不同气体种类下的抽气性能， 以便在实际应用（如真空系统设计、选择合适的真空泵匹配气体类型和工作压力等场景）中，根据具体需求选择和优化泵的使用，确保真空系统能高效运行。
真空设备（如真空泵等）的流量 - 入口压力特性曲线，展示流量随入口压力的变化规律。
真空设备部件尺寸图，显示了带有 DN 40 ISO KF 规格出口的部件外形尺寸
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