普发真空(Pfeiffer Vacuum)HiPace 系列涡轮分子泵

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摘要

厦门太星供应普发 HiPace 涡轮分子泵,可选复合轴承与磁悬浮轴承,抽速大、压缩比高,轻松实现高、超高真空。运行低噪低振动,支持任意角度安装,可选耐腐蚀涂层,防护等级 IP54。适配 TC 控制器,具备 RS‑485 通讯,广泛用于半导体、镀膜、科研仪器,性能稳定可靠,满足严苛工艺真空需求。

产品介绍

普发真空Pfeiffer VacuumHiPace 系列涡轮分子泵,是高真空领域的核心抽气设备,主打高抽速、紧凑结构,常用于半导体制造、科研实验室等需要超高真空环境的场景,是真空系统的关键部件之一。


普发 HiPace 涡轮分子泵


普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的多气体抽速特性曲线,展示了 He、H₂、N₂、Ar 四种气体在不同压强下的抽速变化规律:高真空段(<10⁻³hPa)抽速稳定,轻气体(如 H₂)随压强上升抽速衰减更明显,是真空系统选型、匹配气体工况的核心性能参考图。


普发 HiPace 涡轮分子泵


普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图,标注了该分子泵的主接口(DN63 ISO-K)、辅助接口(G1/4")、安装孔位(M5 螺纹)及外形尺寸,是该分子泵与真空系统集成安装的技术参考图纸。


普发 HiPace 涡轮分子泵


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