普发真空(Pfeiffer Vacuum)HiPACE 系列涡轮分子泵

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摘要

普发 HiPace 系列涡轮分子泵,采用复合 / 磁悬浮轴承结构,运行低噪低振动,转子动平衡精密,抽速充足,可实现高、超高真空工况pfeifferva...。支持多方位安装,通讯接口完善,适配镀膜、科研仪器、半导体真空腔体。整机结构紧凑坚固,运行稳定寿命长,现货及配件齐全,是真空系统搭建、设备维修替换的高性能进口分子泵。

产品介绍

普发真空Pfeiffer VacuumHiPACE 系列涡轮分子泵,属于真空获得设备中的分子泵类别,常用于需要高真空环境的领域,如半导体、镀膜、分析仪器等场景,可实现对气体的抽运,获得超高真空。


普发 HiPace 涡轮分子泵


涡轮分子泵抽速曲线,具体展示了普发真空(Pfeiffer Vacuum)HiPACE 系列涡轮分子泵对不同气体(N₂、He、H₂、Ar)的抽速(S)随入口压力(p)的变化关系。

该曲线是涡轮分子泵的核心性能图表之一,通过它可以直观了解泵在不同压力区间对各类气体的抽气能力,为真空系统的设计和选型提供关键依据,比如在半导体、真空镀膜等需要高真空环境的领域,工程师可借助此曲线判断泵对特定气体的处理效率。


普发 HiPace 涡轮分子泵


普发真空 HiPACE 系列涡轮分子泵的机械图纸,属于真空设备技术范畴。它详细标注了泵的尺寸、接口规格(如 HV DN 63 ISO - K、VV DN 16 ISO - KF/1/4")及安装参数,为设备的安装集成、接口适配提供技术依据,助力半导体、高真空分析等领域的真空系统搭建,是实现高真空环境的关键技术部件图纸。


普发 HiPace 涡轮分子泵



普发 HiPace 涡轮分子泵普发 HiPace 涡轮分子泵


普发 HiPace 小型高性能涡轮分子泵,无 Holweck 级结构,氮气最高抽速 64l/s,搭载 TC110 集成电子驱动单元。支持任意方位安装,耐粉尘适配工艺工况,系统集成简单可靠。可搭配丰富配件拓展使用场景,整机结构紧凑稳定,适配各类工业与科研真空设备,是真空系统搭建、设备维修替换的优质分子泵。


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