普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATP 2300M 涡轮分子泵

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关键词：普发 ATP2300M 分子泵

摘要

太星供应普发 Pfeiffer ATP2300M 全磁悬浮涡轮分子泵，五轴磁浮轴承，水冷无油免维护，大抽速，轻气体抽气性能优异。支持任意角度安装，可选集成 / 外置驱动，适配 DN250 ISO‑F/CF‑F 法兰，低噪低振。多用于半导体、离子注入、镀膜、科研超高真空系统，整机、控制器及配件齐全，原装品质供货稳定，保障洁净高真空工艺运行。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATP 2300M 涡轮分子泵。

它属于涡轮分子泵品类，是实现超高真空环境的核心设备之一，广泛应用于半导体制造、科学研究等对真空度要求极高的领域。

普发 ATP2300M 分子泵

普发真空 ATP 2300M 涡轮分子泵的抽速曲线。

图中展示了该泵对不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同入口压力（p，单位 hPa）下的抽速（S，单位 l/s）变化关系，是体现其抽气能力随压力和气体种类变化的核心性能曲线之一。

普发 ATP2300M 分子泵

涡轮分子泵的流量曲线。

图中展示了气体流量（Flow，单位 sccm）随入口压力（Inlet pressure，单位 mbar）变化的关系，用于体现涡轮分子泵在不同压力下的气体输送流量性能，是其性能表征的重要曲线之一。

普发 ATP2300M 分子泵

涡轮分子泵的外形尺寸与接口布局图纸。

图中展示了该泵的剖面（左）和底部（右）视角，标注了入口（Inlet）、出口（Outlet，DN 40 ISO KF 接口）、吹扫口（Purge）、电气接口（Electrical connection）、水接口（Water）等关键部件的位置，以及直径（Ø315）、高度（H）等尺寸参数，用于指导泵的安装、管路连接和空间适配等工程应用场景。

普发 ATP2300M 分子泵

五轴磁轴承纯涡轮分子泵，无 Holweck 级结构，氦气抽速最高可达 2050 l/s，进气法兰 DN250 ISO‑F。搭载 OBC V4 集成驱动电子单元，支持任意方位安装，水冷式无加热设计，具备远程控制功能。拥有 CE 标识，完全符合 RoHS 标准，无油洁净低振动，适配大型超高真空设备，原装性能可靠，整机配套配件齐全，满足严苛科研与工业真空工艺。

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