普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATP 2300M 涡轮分子泵

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摘要

普发 ATP 2300M 磁悬浮涡轮分子泵，采用五轴全磁浮轴承，无油洁净，免维护无磨损，可任意角度安装。大抽速，轻气体压缩比优异，低振动低噪音，水冷散热稳定可靠。适配半导体、PVD 镀膜、科研实验等高真空工况，可搭配各类前级泵组成真空机组。太星有限公司原厂供货，货源稳定，提供选型咨询、配件配套及售后技术支持。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATP 2300M 涡轮分子泵。

它属于涡轮分子泵品类，是实现超高真空环境的核心设备之一，广泛应用于半导体制造、科学研究等对真空度要求极高的领域。...

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普发真空 ATP 2300M 涡轮分子泵的抽速曲线。

图中展示了该泵对不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同入口压力（p，单位 hPa）下的抽速（S，单位 l/s）变化关系，是体现其抽气能力随压力和气体种类变化的核心性能曲线之一。

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涡轮分子泵的流量曲线。

图中展示了气体流量（Flow，单位 sccm）随入口压力（Inlet pressure，单位 mbar）变化的关系，用于体现涡轮分子泵在不同压力下的气体输送流量性能，是其性能表征的重要曲线之一。

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涡轮分子泵的外形尺寸与接口布局图纸。

图中展示了该泵的剖面（左）和底部（右）视角，标注了入口（Inlet）、出口（Outlet，DN 40 ISO KF 接口）、吹扫口（Purge）、电气接口（Electrical connection）、水接口（Water）等关键部件的位置，以及直径（Ø315）、高度（H）等尺寸参数，用于指导泵的安装、管路连接和空间适配等工程应用场景。

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