普发真空 Split Flow 系列涡轮分子泵

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关键词：涡轮分子泵

摘要

普发真空 SplitFlow 系列涡轮分子泵，德国原厂精密制造，专为多室高真空场景设计。单泵替代多立泵，结构紧凑、集成驱动、任意角度安装。混合轴承设计，抽速高、压缩比大、振动低、能耗省。适配质谱分析、电子显微镜、氦检等设备，是稳定的超高真空核心部件。

普发真空 Split Flow 系列涡轮分子泵，它是一款集成分流功能的高真空泵，兼具涡轮分子泵的高抽速与分流设计，可实现不同气体的选择性抽排，适配半导体、科研等对真空环境有精细控制需求的场景，是复杂真空系统的核心设备之一。

涡轮分子泵

真空计多气体灵敏度特性曲线，展示了 N₂、He、H₂、Ar 四种气体在不同压强（p，单位 hPa）下的灵敏度（S）变化规律，用于指导真空计在多气体环境下的测量校准，是真空系统气体检测的关键参考曲线。

涡轮分子泵

普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图，展示了该泵的接口规格（如 DN 63 ISO-K 真空法兰、G 1/4" 辅助接口）、安装孔位（M5 螺栓）及关键尺寸参数，用于指导该分子泵在真空系统中的安装与管路适配，是设备集成的技术参考图纸。

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