普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵

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关键词：涡轮分子泵

摘要

普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵，德国原装，高真空与超高真空核心设备。采用复合 / 磁悬浮轴承，专利激光平衡技术，振动、静音运行Pfeiffer 普旭。抽速覆盖广，压缩比高，极限真空可达 10⁻¹¹mbar 级Pfeiffer 普旭。结构紧凑、启动快，维护周期长，适配半导体、质谱、科研等精密场景，提供稳定洁净高真空环境。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵。

它属于涡轮分子泵品类，是普发真空的 HiPace 系列产品，广泛应用于需要高真空环境的领域，如半导体制造、科学研究、分析仪器等场景，具备高抽速、低振动、低噪音等特点。

涡轮分子泵

某型号涡轮分子泵的抽速曲线。图中纵轴 S 为抽速（单位 l/s），横轴 p 为入口压力（单位 hPa），四条不同颜色曲线分别对应 N₂、He、H₂、Ar 四种气体，直观呈现该泵对不同气体的抽气能力随入口压力的变化特性，是表征涡轮分子泵核心性能的关键技术图表。

涡轮分子泵

涡轮分子泵的外形尺寸与接口布局图纸。

图中从多个视角标注了该泵的尺寸参数（如长度、直径、角度等），以及关键接口类型，包括高真空接口（HV DN 63 ISO-K）、阀门接口（VV DN 16 ISO-KF / 1/4"）等，还标注了安装螺纹（M5 - 10 deep (6x)），用于指导泵的安装、管路连接和空间适配等工程场景。

涡轮分子泵

涡轮分子泵 ‘’

高性能小型涡轮分子泵无 Holweck 级别设计，氮气抽吸能力高达 64 l/s。内置 TC 110 RS 驱动模块，自带四路配件接口与 RS-485 通讯，适配智能联动。支持任意角度安装，布局灵活、集成便捷。机身耐粉尘、适配严苛工艺工况，搭配丰富配件拓展应用场景，结构精简耐用，为各类真空系统提供稳定的真空输送方案。

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