普发真空 Split Flow 系列分流型涡轮分子泵

上一条： 分子泵维修

下一条： SHIMADZU EI-D1003M 分子泵驱动器

关键词：普发 SplitFlow 分流型涡轮分子泵

摘要

普发真空 Split Flow 分流型涡轮分子泵，采用分流抽气结构与混合轴承设计，结构紧凑，支持多方位安装，运行平稳。抽气性能优异，可快速获得高真空，适配质谱、氦检仪、分析仪器等设备。兼容 CF、ISO-K 法兰接口，功耗可控，抗杂质能力良好，适合小型超高真空系统，长期运行稳定可靠。

普发真空 Split Flow 系列分流型涡轮分子泵，它集成了分流功能，可在高真空环境下实现不同气体的选择性抽排，搭配控制模块使用，适用于半导体工艺、科研真空系统等需要精细气体管理的场景，是兼具高抽速与气体分流能力的核心真空设备。

普发 SplitFlow 分流型涡轮分子泵

真空计多气体灵敏度特性曲线，呈现了 N₂、He、H₂、Ar 四种气体在不同压强（p，单位 hPa）下的灵敏度（S）变化趋势，用于真空计在多气体环境中的测量校准与精度评估，是真空系统气体检测的重要技术参考图表。

普发 SplitFlow 分流型涡轮分子泵

普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图纸，标注了该泵的接口规格（如 DN 63 ISO-K 真空法兰、G 1/4" 辅助接口）、安装孔位（M5 螺栓）及关键尺寸参数，用于指导该分子泵在真空系统中的安装与管路适配，是设备集成的技术参考文件。

普发 SplitFlow 分流型涡轮分子泵

普发小型高性能涡轮泵依托 HiPace 技术，氮气高真空法兰抽速最高 53 l/s，中间抽气口抽吸能力 0.15 l/s，搭载 TC110 集成驱动单元。支持任意方位安装，运行稳定。专为分析场景打造，适配氦检漏、质谱设备，配套丰富配件，拓展灵活，是小型高真空分析系统优选泵组。

联系我们

普发 SplitFlow 分流型涡轮分子泵

黄先生15880223078微信同号

QQ：416643690

邮箱：mike@xiamenbest.com

公司网址：www. xmtaixing.com

欢迎随时联系我们，我们将竭诚为您服务！