普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵

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关键词：涡轮分子泵

摘要

德国普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵，原装进口，抽速覆盖 10–3000L/s，极限真空达 1E-11mbar。采用复合轴承与激光平衡技术，启动快、低噪低振、寿命长，对小分子气体压缩比优异。结构紧凑轻量化，适配半导体、分析仪器、真空镀膜、检漏等场景，稳定可靠、维护简便，是工业超高真空系统的。

普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵，是高真空系统的核心抽气设备，具备高抽速、紧凑结构的特点，常用于半导体制造、科研实验室等需要超高真空环境的场景，是构建真空系统的关键部件之一。

涡轮分子泵

普发真空涡轮分子泵的多气体抽速特性曲线，展示了 N₂、He、Ar、H₂四种气体在不同压强（p）下的抽速（S）变化规律：高真空段（<10⁻³hPa）抽速稳定，随压强升高抽速逐渐衰减，是真空系统选型、匹配气体工况的核心性能参考图。

涡轮分子泵

普发真空涡轮分子泵的安装尺寸图，标注了该分子泵的主接口（DN 63 ISO-K）、辅助接口（G1/4"）、安装孔位（M5 螺纹）及外形尺寸，是该分子泵与真空系统集成安装的技术参考图纸。

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