SRG 旋转转子真空计突破传统真空计
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摘要
SRG 旋转转子真空计是制造计量完整性的基础技术，非传统替代品。它以磁悬浮钢球测压，NIST 可追溯，抗污染、长期稳定（20 年校准系数变化 < 0.2%）。适用半导体、镀膜、显示面板、光伏等领域，严格控制制程、减少变异，提升良率与质量，是高精密制造的可靠之选。
产品介绍
SRG 旋转转子真空计突破传统真空计 “替代者” 定位，以计量完整性基础技术身份，成为制造的关键支撑设备。其核心优势在于高度准确且稳定的真空测量能力，可捕捉微小真空波动，为严苛制程控制提供可靠数据依据，从源头减少工艺变异，直接助力高精密行业提升产品良率与质量。
在半导体制造中，无论是光刻环节的真空环境调控，还是薄膜沉积工艺的压力控制，SRG 都能实时输出高精度数据，避免因真空偏差导致的芯片缺陷，保障晶圆生产稳定性；镀膜行业（如光学镀膜、硬质镀膜）中，其稳定测量可确保膜层厚度均匀性，减少批次间差异，提升镀膜产品光学性能与耐用性；显示面板制造（如 OLED 柔性屏生产）时，SRG 能维持真空腔体压力恒定，避免因压力波动造成的像素不良；光伏行业的 PERC 电池钝化层制备工艺中，真空度控制可优化钝化效果，助力提升电池转换效率。
此外，该真空计适配性强，可轻松集成至现有生产系统，支持数据实时传输与追溯，方便工厂实现智能化制程管理；同时具备长期运行稳定性，降低频繁校准与维护成本。对于追求工艺精细化、品质高标准化的半导体、镀膜、显示面板、光伏企业而言，SRG 旋转转子真空计不仅是测量设备，更是提升生产竞争力的核心助力。
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