普发真空 Split Flow 系列分流式涡轮分子泵

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关键词：涡轮分子泵

摘要

普发真空 Split Flow 系列分流式涡轮分子泵，多真空口分流设计，单泵替代多泵，紧凑省空间。混合轴承长寿命、高抽速高压缩比，可达高 / 超高真空。集成控制器、IP54 防护，运行稳定安全。适配质谱、电镜、检漏等精密分析场景，可靠灵活集成、降本增效。

普发真空 Split Flow 系列分流式涡轮分子泵，它是一款具备气体分流功能的高真空泵，可在高真空环境下对不同气体进行选择性抽排，搭配控制模块实现调控，广泛应用于半导体工艺、科研真空系统等需要精细气体管理的场景，是复杂真空设备的核心部件之一。

涡轮分子泵

真空计多气体灵敏度特性曲线，展示了 N₂、He、H₂、Ar 四种气体在不同压强（p，单位 hPa）下的灵敏度（S）变化规律，用于真空计在多气体环境中的测量校准与精度修正，是真空系统气体检测的核心技术参考曲线之一。

涡轮分子泵

普发真空 Split Flow 系列分流式涡轮分子泵的安装尺寸图纸，标注了该泵的接口规格（如 DN 63 CF-F 真空法兰、G 1/4" 辅助接口）、中间抽气口（M5）及安装孔位（M5 螺栓）等关键尺寸，用于指导该泵在真空系统中的安装与管路适配，是设备集成的技术参考文件。

涡轮分子泵

基于 HiPace 技术的小型高性能涡轮泵，N₂抽速高达 53 l/s，中间抽气装置抽速 0.15 l/s，搭载 TC 110 集成电子驱动，启停迅速、运行稳定。可任意角度安装，适配检漏、质谱等分析场景，搭配丰富配件拓展性强，德国精工品质，紧凑安装灵活。

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