普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵

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关键词： HiPace 系列涡轮分子泵

摘要

普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵，是超高真空应用标杆之选！采用复合轴承技术与专利激光平衡技术，低振低噪，氮气抽速最高达 2700 l/s，小分子气体压缩比超卓越。间断模式节能 90%+，免维护周期长达 5 年，支持任意方向安装与远程监控。通过多重权威认证，适配半导体、科研、质谱分析等场景，紧凑耐用且适配性广，稳定高效满足各类真空需求。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵与真空阀门集成单元，核心为 HiPace 分子泵，搭配真空阀门实现高真空系统的抽气与通路控制，具备高抽速、集成化特点，适用于半导体、科研等精密真空制程场景。

HiPace 系列涡轮分子泵

普发真空小型涡轮分子泵的多气体抽速特性曲线，展示 He、H₂、N₂在不同压强下的抽速变化：高真空段（<10⁻³hPa）抽速稳定，轻气体（如 H₂）随压强上升衰减更快，是小型真空系统（如实验室设备）选型、匹配气体工况的核心性能参考图。

HiPace 系列涡轮分子泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）真空阀门的安装尺寸图，对应 DN40 ISO-KF 接口的真空阀门，标注了安装孔位（M5 螺纹）、接口规格及外形尺寸，是真空系统中通路控制部件的集成适配图纸，适用于实验室、半导体等真空设备的管路连接。

HiPace 系列涡轮分子泵

普发真空小型量产涡轮分子泵，专为量产场景打造！氮气抽速达 10 l/s，性能强劲稳定。配备 DN40 标准接口，24V 集成驱动电子设备无需额外配置。支持可移动使用，无需额外冷却装置，安装操作便捷。采用复合轴承与激光动平衡技术，坚固耐用且低振低噪，免维护周期长，适配小型制造、科研量产等场景，是高性价比的紧凑型真空解决方案。

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