普发真空(PFEIFFER VACUUM)HiPace 系列涡轮分子泵
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摘要
普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵,凭借复合轴承技术与精密转子设计,抽速达 10-800 l/s,氢气压缩比高达 10⁷,极限压力<1×10⁻¹⁰ hPa。50dB (A) 低噪运行,支持任意方向安装,间断模式节能 90% 以上。集成多通信接口,维护周期长达 5 年,通过 Semi-S2 等,广泛适配半导体、质谱分析、科研等超高真空场景,稳定又省心。
产品介绍
普发真空(PFEIFFER VACUUM)HiPace 系列涡轮分子泵,它是一款用于获得超高真空环境的核心设备,通过高速旋转的涡轮叶片输运气体分子,广泛适配半导体制造、科研实验等场景的真空系统。

普发 HiPace 系列涡轮分子泵的抽速特性曲线,它展示了 N₂、He、Ar、H₂等气体在不同压强(单位:hPa)下的抽速(单位:l/s)变化规律,是评估该系列分子泵抽气性能的核心图表,用于真空系统的选型与性能匹配。

普发 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图纸,标注了该分子泵的接口规格(如 DN 100 ISO-K 进气口、DN 16 ISO-KF 排气口)、安装孔位(M8 螺栓)及各部位尺寸参数,用于指导其在真空系统中的安装适配。

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