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普发真空 HiPace 300 H 涡轮分子泵

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关键词： 涡轮分子泵

摘要

# 普发真空 HiPace 300 H 涡轮分子泵

普发 HiPace 300 H 为混合轴承涡轮分子泵，抽速 260L/s，适配 DN100 ISO-K 法兰，氢气压缩比优异，擅长轻气体抽取。采用激光动平衡，振动低、运行稳定，搭配 TC110/TCP350 驱动器。多用于质谱、检漏、镀膜、科研及半导体超高真空场景，耐高温，维护便捷，是工业与实验室高真空系统常用机型，可提供整机、配件及维修服务。

产品介绍

普发真空 HiPace 300 H 涡轮分子泵。

它属于普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列，是一款高性能涡轮分子泵，对氮气抽速可达 260 L/s，极限压力低于 5×10⁻¹⁰ mbar，采用风冷设计，广泛应用于半导体、科研实验室、真空镀膜等对超高真空要求严苛的领域。


涡轮分子泵


普发真空 HiPace 300 涡轮分子泵的抽速曲线。

该曲线展示了不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同压强（p，单位 hPa）下的抽速（S，单位 l/s）表现，是评估涡轮分子泵真空性能的关键图表，可直观反映泵对不同气体的抽吸能力随压强的变化规律，为真空系统的选型和应用提供数据支撑。


涡轮分子泵


普发真空 HiPace 300 涡轮分子泵的尺寸图纸。

该图纸详细标注了泵体的关键尺寸参数，包括接口规格（如 DN 100 ISO-F 进气法兰、DN 16 ISO-KF 前级法兰）、安装孔位（M8×5）及各方向的尺寸数据，用于设备的安装适配与集成设计。


涡轮分子泵


涡轮分子泵涡轮分子泵



普发真空 HiPace 300 H 涡轮分子泵

H 代表超高压缩比版本，这款坚固高性能涡轮分子泵，氮气抽速最高 260L/s，对轻质气体压缩能力突出，适合制取超高真空。搭载 TC110 集成电子驱动单元，支持任意方位安装，搭配丰富配件拓展应用，运行稳定可靠，适配质谱、检漏、镀膜、科研、半导体等高真空工况。



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