普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵
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摘要
普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵，搭载高速磁悬浮轴承技术，极限真空低至 1×10⁻¹¹ mbar，抽速覆盖 10–9200 L/s 宽量程。无油运行设计污染，支持 400℃高温烘烤，适配多规格法兰。具备智能监控与快速启动功能，稳定耐用，广泛应用于半导体、科研、镀膜等超高真空场景，是工业与实验室真空系统的。
产品介绍
普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵，它是一款高真空获得设备，通过高速旋转的涡轮叶片输运气体分子实现超高真空环境，广泛应用于半导体制造、科研实验等领域，是真空系统的核心部件之一。
普发 HiPace 系列涡轮分子泵的抽速特性曲线，它展示了 N₂、He、Ar、H₂等气体在不同压强（单位：hPa）下的抽速（单位：l/s）变化规律，是评估该系列分子泵抽气性能的核心图表，用于真空系统的选型与性能匹配分析。
普发 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图纸，标注了该设备的接口规格（如 DN 100 ISO-K 进气口、DN 16 ISO-KF 排气口）、安装孔位（M8 螺栓）及各部位尺寸参数，用于指导设备在真空系统中的安装与适配。
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