普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵
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普发分子泵 HiPace1800
摘要
德国普发真空 PFEIFFER VACUUM HiPace 系列涡轮分子泵，原装进口，专为高 / 超高真空场景打造。采用创新转子与复合 / 磁悬浮轴承，抽速覆盖广、压缩比高，振动小、寿命长、维护简便。集成驱动电子，安装灵活，适配半导体、分析仪器、真空镀膜、科研实验室等严苛工况，稳定可靠、性能出众，是真空系统。
产品介绍
普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵，是一款用于获得超高真空环境的核心设备，通过高速旋转的涡轮叶片输运气体分子，适配半导体制造、科研实验等场景的真空系统，侧边的接口模块用于实现设备的控制信号与供电连接。
普发 HiPace 系列涡轮分子泵的抽速特性曲线，它展示了 N₂、He、Ar、H₂等不同气体在不同压强（单位：hPa）下的抽速（单位：l/s）变化规律，是评估该系列分子泵抽气性能的核心图表，用于真空系统的选型与性能匹配分析。
普发 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图纸，标注了该分子泵的接口规格（如 DN 100 CF-F 进气口、DN 16 ISO-KF 排气口）、安装孔位（M8 螺栓）及各部位尺寸参数，用于指导其在真空系统中的安装适配。
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