普发分子泵 HiPace10

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关键词：普发分子泵

摘要

德国普发 HiPace10 涡轮分子泵，紧凑轻便仅 1.8kg，IP54 防护适配工业环境。氮气 10l/s 高抽速搭配 < 5×10⁻⁵mbar 极限真空，0.9 分钟快速启动。复合轴承设计寿命长久，支持任意角度安装与现场维护。通过 SEMI S2 及 UL 认证，适配多气体工况，是质谱分析、半导体制造、科研实验的可靠真空解决方案。

产品介绍

普发分子泵 HiPace10

普发真空（Pfeiffer Vacuum）生产的 HiPace 系列涡轮分子泵 。

HiPace 系列涡轮分子泵常用于需要高真空或超高真空环境的场合，像半导体制造领域，用于芯片制造过程中的刻蚀、镀膜等环节；在科研方面，可用于材料科学研究、表面分析等实验。其通过高速旋转的叶片将气体分子驱向排气口，实现抽气，以达到系统所需的真空度。

普发分子泵

德国普发 HiPace10 涡轮分子泵，凭借紧凑设计（仅 1.8kg）与 IP54 防护，适配多场景安装。氮气 10l/s 高抽速 +<5×10⁻⁵mbar 极限真空，0.9 分钟快速启动，效率出众。复合轴承加持延长使用寿命，支持任意角度安装与便捷维护，通过 SEMI S2 等，为质谱分析、半导体制造、科研实验提供稳定可靠的高真空解决方案。

普发 HiPace10 涡轮分子泵，主打紧凑与广泛适配性。机身轻便、防护性强，具备高抽速、快启动优势，复合轴承设计兼顾长寿命与易维护性，通过多项。适配质谱分析、半导体制造、科研实验等多场景，为精密真空作业提供稳定可靠的解决方案，兼顾性能与实用性。

抽速和尺寸图