普发真空（Pfeiffer Vacuum）的 TSU 61 BP 100 A 涡轮分子泵机组
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分子泵维修
摘要
普发真空 T561 BP 100 A 工业真空泵，是真空系统核心组件。它机身紧凑易集成产线，精密接口兼容自动化工况，稳定输出适配检漏、镀膜等场景，保障真空环境，性能可靠，是工业真空应用的优质配套设备。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）的 TSU 61 BP 100 A 涡轮分子泵机组。
它属于普发真空的高真空设备系列，是一款用于产生超高真空环境的工业级设备，常用于半导体制造、真空分析、科研实验等对真空度要求极高的领域，具备抽气、稳定运行的特点，其集成化设计便于在各类真空系统中部署。
T561 BP 100 A 真空泵，针对 load lock 腔体，通过优化泵腔结构 + 气流调控，匹配腔体容积特性快速建立真空，实现短抽真空时间。其采用电机 + 节能工况设计能耗低；模块化耐用结构大幅减少维护量、延长连续运行时间；且尺寸小巧、重量轻盈，便于集成至各类产线的 load lock 真空单元，适配精密制造等场景。
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