普发真空 HiCUBE 系列集成式高真空抽气机组
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摘要
德国普发真空 HiCUBE 系列集成式高真空抽气机组，原装品质，模块化集成设计。整合 HiPace 分子泵与优质前级泵，极限真空可达 10⁻¹⁰hPa，抽速覆盖 35-800L/s。触摸屏智能控制，支持远程监控，即插即用易维护。结构紧凑、低噪节能，适配科研、半导体、镀膜等精密高真空场景。
产品介绍
普发真空 HiCUBE 系列集成式高真空抽气机组。它集成涡轮分子泵与前级泵，采用红色机架紧凑设计，配备可视化操作界面，可快速获得高真空环境，适配科研、半导体等场景的真空抽气需求，具备安装便捷、运行稳定的特点。
普发真空 HiCUBE 系列集成式高真空抽气机组的工程尺寸图。它包含正视图、侧视图、俯视图，标注了设备的关键外形与安装尺寸，用于指导设备安装、空间布局与系统集成适配，是科研、半导体等场景真空系统设计的核心技术图纸。
本设备支持静态与动态双模式校准，校准量程覆盖 1013 至 10⁻⁴ hPa，操作流程简洁易懂。设备试验室严格遵循 ISO/TS 3567 标准配置，可搭载至多 3 个中等精度参考变送器。DAkkS 认证参考变送器可单独选配，整体适配性灵活，还能根据工况定制专属系统，适配各类真空精密校准场景。
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