普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 系列涡轮分子泵

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关键词：涡轮分子泵

摘要

 普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 系列涡轮分子泵

普发 ATH 500M 涡轮分子泵搭载五轴主动磁悬浮轴承，无油洁净、转子无摩擦免维护，氮气抽速最高 550l/s，压缩性能优异。集成驱动单元，机身紧凑，支持任意方位安装，低振动低噪音，断电自持保护保障运行安全。MT 版本自带加热，适配腐蚀性工艺；可选水冷、风冷，兼容多种前级泵。多用于半导体工艺、真空镀膜、分析仪器、科研光子学、医疗加速器等高真空场景。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 系列涡轮分子泵，属于高真空获得设备。

它采用涡轮分子泵技术，可在高真空环境下实现抽气，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析仪器等对真空度要求极高的领域，具备高抽速、低振动、长寿命等特点，是高真空系统的核心部件之一。

涡轮分子泵

涡轮分子泵的抽速 - 压力特性曲线，属于高真空设备的性能图表。

该曲线展示了涡轮分子泵在不同气体（N₂氮气、He 氦气、H₂氢气、Ar 氩气）下，抽气速率（S，单位：l/s）随入口压力（p，单位：hPa）的变化关系，反映了泵在不同工况下的抽气性能，是高真空设备选型和性能评估的重要参考图表。

涡轮分子泵

真空设备的流量 - 入口压力特性曲线，属于真空系统性能图表。

该曲线展示了某真空设备（如真空泵、真空阀等）在不同入口压力（单位：mbar）下的气体流量（单位：sccm）变化关系，反映了设备在不同压力工况下的流量性能，是真空设备选型、性能评估及系统匹配的重要参考图表。

涡轮分子泵

真空涡轮分子泵的尺寸图纸，属于高真空设备的机械设计图纸。

图纸从正视图和俯视图标注了泵体的关键尺寸参数，包括入口（Inlet）、出口接口规格（DN25 ISO-KF）、外形轮廓尺寸（如直径 Ø180 等），用于设备的安装适配、空间布局规划以及技术参数确认，是涡轮分子泵工程应用和机械设计的重要技术文档。

涡轮分子泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 系列涡轮分子泵

普发 ATH 500M 涡轮分子泵配置 Holweck 级、五轴磁悬浮结构，氮气抽速可达 330 l/s，进气法兰 DN100 CF-F。紧凑型集成驱动电子装置，支持任意方向安装，配备 Profibus 通讯接口，水冷机型不带加热。产品持有 CE 标识，完全满足 RoHS 环保标准。无油洁净，转子无摩擦，运行振动低，适配各类高真空系统，广泛应用于科研实验、分析仪器、真空检测等场景。

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