普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 系列涡轮分子泵

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关键词：涡轮分子泵

摘要

普发真空 ATH500M 系列涡轮分子泵，德国原装，5 轴磁悬浮轴承设计，无油。氮气抽速最高 550L/s，极限真空 < 10⁻⁸mbar，低振动低噪音。集成驱动，体积紧凑，任意角度安装，水冷 / 风冷可选。MT 型带加热，适配腐蚀工况，广泛用于半导体、科研等高真空领域。

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 系列涡轮分子泵，属于高真空获得设备。

它采用涡轮分子泵技术，可在高真空环境下实现抽气，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析仪器等对真空度要求极高的领域，具备高抽速、低振动、长寿命等特点，是高真空系统的核心部件之一。

涡轮分子泵

涡轮分子泵的抽速 - 压力特性曲线，属于高真空设备的性能图表。

该曲线展示了涡轮分子泵在不同气体（N₂氮气、He 氦气、H₂氢气、Ar 氩气）下，抽气速率（S，单位：l/s）随入口压力（p，单位：hPa）的变化关系，反映了泵在不同工况下的抽气性能，是高真空设备选型和性能评估的重要参考图表。

涡轮分子泵

真空设备的流量 - 入口压力特性曲线，属于真空系统性能图表。

该曲线展示了某真空设备（如真空泵、真空阀等）在不同入口压力（单位：mbar）下的气体流量（单位：sccm）变化关系，反映了设备在不同压力工况下的流量性能，是真空设备选型、性能评估及系统匹配的重要参考图表。

涡轮分子泵

真空涡轮分子泵的尺寸图纸，属于高真空设备的机械设计图纸。

图纸从正视图和俯视图标注了泵体的关键尺寸参数，包括入口（Inlet）、出口接口规格（DN25 ISO-KF）、外形轮廓尺寸（如直径 Ø180 等），用于设备的安装适配、空间布局规划以及技术参数确认，是涡轮分子泵工程应用和机械设计的重要技术文档。

涡轮分子泵

高性能 5 轴磁悬浮涡轮泵，集成阻力级设计，氮气抽速达 350L/s。DN100 ISO‑F 法兰，紧凑型集成驱动，支持 Profibus 通讯。风冷不加热型，可任意角度安装。无油洁净、低振低噪，CE 认证且符合 RoHS 标准，适配半导体、科研等高真空场景。

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涡轮分子泵

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