普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵

上一条： 半磁浮分子泵TURBOVAC 950 i/iX

下一条： 普发真空 HiPace 300 涡轮分子泵

关键词：涡轮分子泵

摘要

普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵采用混合轴承设计，依靠高速转子动量传递抽取气体，氦气等轻气体压缩性能突出，无油运行。自带集成驱动单元，支持多方位安装，振动低，可实时监测运行状态，通讯便捷。适配高真空、超高真空工况，常配套氦检漏仪、镀膜设备、半导体与科研真空腔体，保障真空系统稳定。

普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵，是一种用于产生高 / 超高真空环境的核心设备，具备高抽速、多气体适配特性，广泛应用于半导体制造、科研仪器等领域。

涡轮分子泵

普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的抽速 - 压力特性曲线，它直观展示了该泵对 N₂、He、Ar、H₂等不同气体，在不同入口压力下的抽速（单位 L/s）变化规律，是评估其真空抽气性能的核心技术图表。

涡轮分子泵

普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图，标注了泵体的机械尺寸（如安装孔位、接口规格），包含 DN160 CF-F 高真空接口、DN16 ISO-KF 辅助接口等关键适配信息，是真空系统集成安装的核心技术图纸。

涡轮分子泵

普发 HiPace380 涡轮分子泵，N₂抽速 380l/s，高性能涡轮泵，激光平衡分子泵，TC110 驱动，任意方向安装，轻气体高抽速，紧凑分子泵，Pfeiffer HiPace，高真空分子泵，氦检配套分子泵，真空腔体分子泵

联系我们

涡轮分子泵

黄先生15880223078微信同号

QQ：416643690

邮箱：mike@xiamenbest.com

公司网址：www. xmtaixing.com

欢迎随时联系我们，我们将竭诚为您服务！