普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵

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关键词：普发真空 Pfeiffer Vacuum HiPace 涡轮分子

摘要

普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵
普发真空 Pfeiffer Vacuum HiPace 涡轮分子泵，采用混合轴承结构，低振动低噪音，转子优化设计带来高抽速与高气流量。支持多角度安装，启动速度快，自带温度监测与自诊断保护，可选防腐版本。适配前级泵组成真空机组，可获得高真空、超高真空环境，广泛用于镀膜、半导体、分析仪器，运行稳定，维护周期长。

产品介绍

普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵，属于超高真空获得设备。它采用复合轴承技术，兼具陶瓷球轴承与永磁径向轴承的优势，抽速性能强劲，尤其适配小分子气体的高压缩比需求，广泛应用于质谱、电子显微镜等高精度分析仪器及半导体领域，是实现超高真空环境的核心设备之一。

普发真空 Pfeiffer Vacuum HiPace 涡轮分子泵

涡轮分子泵的抽速曲线（性能曲线）图，展示了不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同入口压力（p，单位 hPa）下的抽速（S，单位 l/s）变化关系。通过该曲线可直观了解涡轮分子泵对不同气体的抽气能力随压力的变化特性，是选型和评估其性能的重要参考依据。

普发真空 Pfeiffer Vacuum HiPace 涡轮分子泵

涡轮分子泵的安装尺寸图纸，用于标注其各部件的尺寸参数与接口规格。图中明确了泵体的外形尺寸、接口类型（如 DN 16 ISO-KF/G1/4"、DN 100 ISO-F）、安装孔位（M8 螺栓孔、G1/8" 接口等）及角度布局，是设备安装、管路对接的重要技术依据，确保涡轮分子泵与真空系统的适配。

普发真空 Pfeiffer Vacuum HiPace 涡轮分子泵