普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵

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关键词：普发真空 HiPace 涡轮分子泵

摘要

本款普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵，搭载成熟混合轴承结构，转子优化设计，抽速范围广，可任意方位安装。拥有优异的轻质气体压缩比，低振动低噪音，可选耐腐蚀涂层版本。搭配 TC 系列控制器、前级泵组成真空机组，稳定获取高真空与超高真空。适配质谱分析、真空镀膜、科研实验、半导体设备，启停响应快，维护周期长，原装品质，广泛用于各类精密真空系统搭建与设备维修替换。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵，属于超高真空获得设备，常用于科研、半导体、分析仪器等领域，以产生和维持超高真空环境。它是实现精密真空系统的核心组件之一，具备高抽速、低振动、低噪音等特点，可广泛应用于质谱分析、电子显微术、真空镀膜等场景。

普发真空 HiPace 涡轮分子泵

涡轮分子泵的多气体抽速性能曲线（抽速 - 压力特性图），用于展示该泵对氮气（N₂）、氦气（He）、氢气（H₂）、氩气（Ar）四种气体，在不同入口压力（单位：mbar）下的抽速（单位：l/s）变化规律。它是评估涡轮分子泵对不同气体抽气能力、进行设备选型的关键技术图表。

普发真空 HiPace 涡轮分子泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）涡轮分子泵的安装尺寸图纸，用于标注其各部件的尺寸参数、接口规格（如 DN 16 ISO-KF、DN 100 ISO-K 接口）及安装孔位等信息。该图纸是设备安装、管路对接的技术依据，确保涡轮分子泵与真空系统适配，属于真空设备技术文档中的关键资料。

普发真空 HiPace 涡轮分子泵

本款普发 HiPace 高性能涡轮分子泵，氮气工况最高抽速 260 l/s，法兰规格 DN100 ISO-K。内置 TC110 驱动电子装置与 OPS100 电源组件，结构坚固可靠，支持任意方向安装。适配分析仪器与各类工业真空场景，可搭配丰富配件拓展使用场景。整机集成度高，无需额外单独配置驱动器，运行稳定，振动低，常用于质谱检测、镀膜等精密真空系统搭建与设备替换。

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