普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵

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关键词：涡轮分子泵

摘要

厦门太星供应普发真空 ATH500M 全磁浮涡轮分子泵。五轴磁悬浮轴承，无油洁净，免维护。抽速 350-550L/s，极限真空＜1×10⁻⁸hPa，低振低噪。集成驱动，任意角度安装，适配半导体、镀膜等精密真空场景。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵。它采用全磁浮技术，具备高真空抽气能力，由德国普发真空公司研发生产，广泛应用于科研、半导体、分析仪器等需要高真空环境的领域，是真空技术领域的关键设备之一。

涡轮分子泵

涡轮分子泵的气体抽速 - 入口压力特性曲线（分气体种类），展示了某款涡轮分子泵对 N₂、He、H₂、Ar 四种气体，在不同入口压力（p，单位 hPa）下的抽速（S，单位 l/s）变化规律，是体现涡轮分子泵对不同气体抽气能力的核心性能曲线，为真空系统设计与应用提供关键技术参考。

涡轮分子泵

涡轮分子泵的气体流量 - 入口压力特性曲线，也可称为涡轮分子泵的气体通量特性曲线。

该曲线展示了涡轮分子泵在不同入口压力（单位 mbar）下的气体流量（单位 sccm）变化规律，是表征涡轮分子泵气体处理能力的关键性能曲线之一，用于体现泵在不同压力工况下的气体通量表现，属于真空技术领域中涡轮分子泵性能表征的典型图表。

涡轮分子泵

涡轮分子泵的尺寸图纸，属于真空设备的技术规格类图纸。它明确标注了设备的进出气口（Inlet、Outlet DN25 ISO-KF）、外观尺寸（如直径 Φ180 等），是设备安装、集成时的关键参考文档，为真空系统的布局与适配提供的尺寸技术依据。

涡轮分子泵

厦门太星供应普发五轴磁悬浮涡轮泵，搭载 Holweck 级设计，氮气抽速可达 550 l/s，标配 DN160 CF-F 连接法兰。设备采用紧凑型集成驱动，支持安装，配备 Profibus 通讯接口，风冷运行无加热。产品拥有 CE 认证，完全符合 RoHS 标准，性能稳定、合规可靠，适配各类精密真空工况。

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