普发（Pfeiffer Vacuum）ATH 3204M 磁悬浮涡轮分子泵

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关键词：涡轮分子泵

摘要

厦门太星现货供应德国普发 ATH 3204M 五轴磁悬浮分子泵，搭载无接触磁悬浮轴承，免润滑免频繁维保，运行低震低噪，可任意角度安装。氮气抽速 3050l/s，极限真空可达 6×10⁻⁹hPa，集成驱动模块启停迅速、水冷节能。适配半导体镀膜、科研质谱、光伏制程等高洁净超高真空工况，原厂品质稳定，配套控制器、密封备件齐全，支持整机置换与上门维保服务。

产品介绍

普发（Pfeiffer Vacuum）ATH 3204M 磁悬浮涡轮分子泵。

它属于涡轮分子泵的一种，采用五轴磁悬浮轴承技术，具有免维护、无磨损、低振动低噪音的特点，能实现超高真空环境，广泛应用于半导体制造、科学研究...

涡轮分子泵

涡轮分子泵的抽速曲线（也称为泵送速度曲线）。

图中展示了不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同入口压力（P，单位 hPa）下的抽速（S，单位 L/s）变化关系，是涡轮分子泵的核心性能曲线之一，用于体现泵对不同气体的抽气能力随压力的变化特性。

涡轮分子泵

涡轮分子泵的流量曲线。

图中展示了不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同入口压力（P，单位 hPa）下的气体流量（Flow，单位 sccm）变化关系，用于体现泵在不同压力下对各类气体的输送流量性能，是涡轮分子泵性能表征的重要曲线之一。

涡轮分子泵

涡轮分子泵的外形尺寸图纸。

图中展示了该泵的俯视（左）和侧视（右）两个视角的尺寸标注，包括入口（INLET）、出口（OUTLET）、吹扫口（PURGE）的位置，以及关键的外形尺寸参数（如直径 Ø、长度 H 和 P 等），用于指导泵的安装、适配设备腔体的空间布局等工程应用场景。

涡轮分子泵

选购对应产品变体即可查看完整规格详情，全系均为原装进口普发真空分子泵，磁悬浮结构无油洁净、低震低噪，极限真空表现优异，适配半导体、镀膜、科研质谱等精密真空场景。厦门太星现货直发，配套控制器、密封维保套件齐全，提供技术选型、整机置换及售后维修，设备运行稳定耐用，长期工况下故障率低，一站式解决超高真空抽气需求。

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