普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 1603M 全磁浮涡轮分子泵
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分子泵维修
摘要
普发 ATH 1603M 五轴全磁浮涡轮分子泵，搭载 OBC V4 集成驱动，DN200 ISO-F 法兰，氮气抽速 1360L/s，极限真空优异Pfeiffer V...。无接触磁轴承免维护、低震静音，支持任意角度安装，大通量适配吹扫工艺，水冷散热稳定耐用。可搭配手持遥控单元调控，兼容多类前级泵，CE、RoHS 合规，适配半导体镀膜、科研超高真空设备。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 1603M 全磁浮涡轮分子泵。它采用全磁浮技术，具备高真空抽气能力，由德国普发真空公司研发生产，适用于科研、半导体、分析仪器等对高真空环境有需求的领域，是真空技术领域的重要设备之一。
涡轮分子泵的抽速 - 入口压力特性曲线（分气体种类），展示了该涡轮分子泵对 N₂、He、H₂、Ar 四种气体，在不同入口压力（单位 hPa）下的抽速（单位 l/s）变化规律，是体现涡轮分子泵对不同气体抽气能力的核心性能曲线，为真空系统设计与应用提供关键技术参考。
涡轮分子泵的气体流量 - 入口压力特性曲线，也可称为涡轮分子泵的气体通量特性曲线。
该曲线展示了涡轮分子泵在不同入口压力（单位 mbar）下的气体流量（单位 sccm）变化规律，是表征涡轮分子泵气体处理能力的关键性能曲线之一，用于体现泵在不同压力工况下的气体通量表现，属于真空技术领域中涡轮分子泵性能表征的典型图表。
涡轮分子泵的尺寸图纸，属于真空设备的技术规格类图纸。
图纸标注了设备的进出气口（Inlet、Outlet DN 40 ISO KF）、外观尺寸（如直径、长度等参数）、水路接口（Water）等信息，是涡轮分子泵在真空系统中安装、集成和维护的关键参考依据，常用于科研、半导体、真空镀膜等需要高真空环境的领域。
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