设备是普发（Pfeiffer）HiPace 系列涡轮分子泵
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摘要
普发 HiPace 系列涡轮分子泵是真空主力设备，适配半导体制程、质谱检测、镀膜作业以及实验室科研场景。产品转速平稳、振动幅度偏低，能够轻松达成超高真空工况，搭配 DCU 控制器便可实时监测运行参数，调控便捷。整机做工精密，适配多样法兰规格，配套备件完善，日常维保简易，耐受严苛工况，长时间运转可靠性出众，可为各类精密真空系统提供稳定靠谱的抽真空方案。
产品介绍
设备是普发（Pfeiffer）HiPace 系列涡轮分子泵，属于真空获取部件。它依托高速旋转的涡轮叶片带走气体分子，能够构筑高真空环境，常适配半导体制程、质谱检测、科研真空腔体等严苛工况。设备金属质感机身搭配标志性红圈标识，配套专属驱动控制模块，运行震动偏低、抽速稳定，日常可更换轴承、密封圈完成维保，适配多样法兰规格，工业通用性出色，是精密真空系统常用的核心泵体。
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