普发真空 Split Flow 系列涡轮分子泵
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摘要
普发真空 Split Flow 系列涡轮分子泵，传承品牌专利技术与 50 余年真空领域积淀。采用模块化设计与混合轴承系统，紧凑小巧不占地，集成智能控制器，IP54 防护适配工业场景。抽速强劲且压缩比高，可单泵同时为多腔体抽真空，大幅降低投入与运维成本。无油洁净运行，搭配实时数据监控，是质谱仪、检漏仪等分析设备及精密制造的高可靠真空解决方案。
产品介绍
普发真空 Split Flow 系列涡轮分子泵，它是一款集成分流功能的高真空泵，兼具涡轮分子泵的高抽速与分流设计，可实现不同气体的选择性抽排，适配半导体、科研等对真空环境有精细控制需求的场景，是复杂真空系统的核心设备之一。
真空计多气体灵敏度特性曲线，展示了 N₂、He、H₂、Ar 四种气体在不同压强（p，单位 hPa）下的灵敏度（S）变化规律，用于指导真空计在多气体环境下的测量校准，是真空系统气体检测的关键参考曲线。
普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图，展示了该泵的接口规格（如 DN 63 ISO-K 真空法兰、G 1/4" 辅助接口）、安装孔位（M5 螺栓）及关键尺寸参数，用于指导该分子泵在真空系统中的安装与管路适配，是设备集成的技术参考图纸。
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