普发真空 ATH-M 系列磁悬浮涡轮分子泵
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摘要
普发真空 ATH-M 系列磁悬浮涡轮分子泵，高气流量适配非加热与腐蚀工况，支持 85℃高温运行。集成驱动电子设备，即插即用、体积紧凑，DN320 型号高度不足 400mm。5 轴磁悬浮无磨损免维护，启停仅需 8 分钟，低功耗、低耗水，适配严苛工业高真空应用。
产品介绍
德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 3204M 磁悬浮涡轮分子泵，抽速可达 3000L/s，极限真空＜1×10⁻⁸ mbar。全磁浮轴承免维护，无油洁净，低噪低振，支持任意方向安装，适配半导体、镀膜、科研等高真空工况，性能稳定耐用。
普发真空 ATH-M 系列磁悬浮涡轮分子泵，高气流量适配非加热与腐蚀工况，支持 85℃高温运行。集成驱动电子设备，即插即用、体积紧凑，DN320 型号高度不足 400mm。5 轴磁悬浮无磨损免维护，启停仅需 8 分钟，低功耗、低耗水，适配严苛工业高真空应用。
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