普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 3204M 磁悬浮涡轮分子泵
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分子泵维修
摘要
厦门太星现货供应普发 ATH 3204M 五轴磁悬浮涡轮分子泵，搭载无接触磁浮轴承，免润滑免维护，自动失衡补偿，低震低噪。氮气抽速 3050L/s，极限超高真空，气流量大、水冷耗量低，集成电控即插即用。耐腐蚀耐高温，适配半导体刻蚀、镀膜、光伏及科研超高真空设备，运行稳定寿命长，配套备件与技术售后一站式支持。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 3204M 磁悬浮涡轮分子泵。
它属于涡轮分子泵品类，采用磁悬浮轴承技术，具备高抽速、低振动、免维护的特性，可实现超高真空环境，广泛应用于半导体制造、科学研究等对真空度要求极高的领域。
涡轮分子泵的抽速曲线（也称为泵送速度曲线）。
图中展示了不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同入口压力（P，单位 hPa）下的抽速（S，单位 L/s）变化关系，是涡轮分子泵的核心性能曲线之一，用于体现泵对不同气体的抽气能力随压力的变化特性。
涡轮分子泵的流量曲线。
图中展示了不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同入口压力（P，单位 hPa）下的气体流量（Flow，单位 sccm）变化关系，用于体现泵在不同压力下对各类气体的输送流量性能，是涡轮分子泵性能表征的重要曲线之一。
涡轮分子泵的外形尺寸图纸。
图中展示了该泵的俯视（左）和侧视（右）两个视角的尺寸标注，包括入口（INLET）、出口（OUTLET）、吹扫口（PURGE）的位置，以及关键的外形尺寸参数（如直径 Ø、长度 H 和 P 等），用于指导泵的安装、适配设备腔体的空间布局等工程应用场景。
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