普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATP 2300M 涡轮分子泵

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关键词：磁悬浮涡轮分子泵

摘要

太星有限公司供应普发 Pfeiffer ATP2300M 磁悬浮涡轮分子泵，搭载五轴全磁浮轴承，无油无磨损，实现免维护运行，支持任意角度安装Pfeiffer V...。轻气体抽速优异，水冷散热，低震动低噪音，可达成超高真空工况。适配半导体、镀膜与科研设备，法兰接口齐全，运行稳定可靠，是大流量洁净真空系统核心泵件。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATP 2300M 涡轮分子泵。

它属于涡轮分子泵品类，是实现超高真空环境的核心设备之一，广泛应用于半导体制造、科学研究等对真空度要求极高的领域。

磁悬浮涡轮分子泵

普发真空 ATP 2300M 涡轮分子泵的抽速曲线。

图中展示了该泵对不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同入口压力（p，单位 hPa）下的抽速（S，单位 l/s）变化关系，是体现其抽气能力随压力和气体种类变化的核心性能曲线之一。

磁悬浮涡轮分子泵

涡轮分子泵的流量曲线。

图中展示了气体流量（Flow，单位 sccm）随入口压力（Inlet pressure，单位 mbar）变化的关系，用于体现涡轮分子泵在不同压力下的气体输送流量性能，是其性能表征的重要曲线之一。...

磁悬浮涡轮分子泵

涡轮分子泵的外形尺寸与接口布局图纸。

图中展示了该泵的剖面（左）和底部（右）视角，标注了入口（Inlet）、出口（Outlet，DN 40 ISO KF 接口）、吹扫口（Purge）、电气接口（Electrical connection）、水接口（Water）等关键部件的位置，以及直径（Ø315）、高度（H）等尺寸参数，用于指导泵的安装、管路连接和空间适配等工程应用场景。

磁悬浮涡轮分子泵

本款五轴磁轴承纯涡轮泵，无 Holweck 级结构，氦气抽速可达 2050 l/s，配置 DN250 CF‑F 进气法兰，搭配外置 Magpower 驱动单元。支持任意方位安装，水冷冷却无加热设计，运行洁净稳定。拥有 CE 认证，符合 RoHS 标准，低磨损、维护负担小，适配超高真空工艺，适合科研、镀膜等洁净真空场景，性能可靠，太星有限公司现货供应。

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