中科科仪（KYKY）的CXF 系列磁悬浮分子泵（如 CXF-320/3001 型）

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关键词：分子泵参数表

摘要

中科科仪 CXF 系列磁悬浮分子泵，含 200/250/320 三大型号，抽速覆盖 1400-3000L/s，极限真空 10⁻⁷Pa。磁悬浮轴承无油无摩擦，适配半导体、镀膜、科研等高洁净场景。水冷设计稳定耐用，配套专用控制器，支持氮气 / 氩气 / 氦气抽排，是国产高真空设备方案。

产品介绍

中科科仪（KYKY）的CXF 系列磁悬浮分子泵（如 CXF-320/3001 型），是国产真空设备。采用无油磁悬浮轴承设计，运行无摩擦、低振动，抽速大、极限真空度高，适配半导体、镀膜、科研等高洁净高真空场景，是国产替代进口分子泵的核心产品之一。

分子泵参数表

中科科仪（KYKY）CXF 系列磁悬浮分子泵的参数表，涵盖 CXF-200/1401CV、CXF-250/2301CV、CXF-320/3001CV 三款型号。表中清晰标注了抽速、压缩比、极限真空、转速、功耗、法兰规格等关键指标，是国产高洁净真空设备的核心选型参考，适配半导体、镀膜、科研等高真空场景。

分子泵参数表