普发真空 Split Flow 系列分流型涡轮分子泵
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分子泵维修
摘要
普发真空 Split Flow 系列分流型涡轮分子泵，德国原装分流创新设计，一机实现多腔体独立抽气，替代多泵系统。混合轴承长寿命，达超高真空，抽速、压缩比优异。结构紧凑小巧、低振动低噪，集成控制器、IP54 防护。适配质谱、检漏、电镜等分析场景，安装灵活、稳定可靠。
产品介绍
普发真空 Split Flow 系列分流型涡轮分子泵，它集成了分流功能，可在高真空环境下实现不同气体的选择性抽排，搭配控制模块使用，适用于半导体工艺、科研真空系统等需要精细气体管理的场景，是兼具高抽速与气体分流能力的核心真空设备。
真空计多气体灵敏度特性曲线，呈现了 N₂、He、H₂、Ar 四种气体在不同压强（p，单位 hPa）下的灵敏度（S）变化趋势，用于真空计在多气体环境中的测量校准与精度评估，是真空系统气体检测的重要技术参考图表。
普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图纸，标注了该泵的接口规格（如 DN 63 ISO-K 真空法兰、G 1/4" 辅助接口）、安装孔位（M5 螺栓）及关键尺寸参数，用于指导该分子泵在真空系统中的安装与管路适配，是设备集成的技术参考文件。
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