普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵
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摘要
普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵，适配高 / 超高真空场景，采用混合 / 磁悬浮轴承，低噪低振、寿命长。创新转子设计，抽速覆盖 10–2700L/s，极限真空达 10⁻¹⁰hPa 级，对小分子气体压缩比优异。结构紧凑、可任意安装，集成驱动与智能监控，适配半导体、镀膜、质谱、电子显微镜等领域，稳定可靠、维护便捷Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵，是高真空系统的核心抽气设备，具备高抽速、紧凑结构的特点，常用于半导体制造、科研实验室等需要超高真空环境的场景，是构建真空系统的关键部件之一
普发真空涡轮分子泵的多气体抽速特性曲线，展示了 N₂、He、Ar、H₂四种气体在不同压强（p）下的抽速（S）变化规律：高真空段（<10⁻³hPa）抽速稳定，随压强升高抽速逐渐衰减，是真空系统选型、匹配气体工况的核心性能参考图。
普发真空涡轮分子泵的安装尺寸图，标注了该分子泵的主接口（DN 63 ISO-K）、辅助接口（DN 16 ISO-KF/G1/4"）、安装孔位（M5 螺纹）及各类外形尺寸，是该分子泵与真空系统集成安装的技术参考图纸。
紧凑型涡轮泵小巧强劲，氮气抽速最高达67L/s，搭载TC 80 集成电子驱动，无需额外控制器，安装更简洁。支持全方向安装，适配各类设备布局，系统集成稳定高效。搭配丰富扩展配件，可灵活适配质谱、电镜、检漏等精密真空场景，性能可靠、运维便捷，是小型高真空系统的优选方案。
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