普发真空 HiCUBE 系列集成式高真空抽气机组
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摘要
普发真空 HiCUBE 系列集成式高真空抽气机组,德国原厂精工打造,一体化整合 HiPace 涡轮分子泵与前级泵,即插即用免复杂搭建。极限真空达 5×10^-10hPa,抽速覆盖 80–800L/s,模块化可选干式 / 油封前级泵,适配多场景需求。自带智能控制,低震低噪、运行稳定,广泛用于科研实验室、分析仪器、半导体、表面物理等领域,是可靠的高 / 超高真空一站式解决方案。
产品介绍
普发真空 HiCUBE 系列集成式高真空抽气机组。它由涡轮分子泵与前级泵集成而成,结构紧凑,配备可视化操作界面,可快速获得高真空环境,适配科研、半导体等领域的真空抽气需求,具备安装便捷、运行稳定的特点。

普发真空 HiCUBE 系列集成式高真空抽气机组的工程尺寸图。它展示了机组的正视图、侧视图、俯视图及关键安装尺寸,用于指导设备安装、空间布局与系统集成适配,适配科研、半导体等场景的真空系统设计需求,是该机组的核心技术图纸。

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