实验室超高真空腔体系统
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摘要
实验室超高真空腔体系统 实验室超高真空腔体系统采用优质不锈钢材质,整体真空精密焊接工艺,搭配金属密封结构,漏率低、稳定性强。设备可搭载分子泵机组,支持超高真空环境,可选配样品过渡仓,实现不破真空换样。支持加装加热、低温、位移驱动等模块,支持多规格定制,耐高温耐腐蚀,广泛适用于真空镀膜、材料测试、科研实验等场景。
产品介绍
实验室超高真空腔体系统
本套超高真空腔体系统采用 304 不锈钢镜面抛光腔体,金属 CF 法兰密封,焊接工艺精密,整机漏率优异。多接口多路法兰布局,预留丰富观测、进气、检测点位,集成真空测量仪表与真空阀门,搭配分子泵 / 离子泵机组。可按需定制尺寸,耐高温耐腐蚀,真空度可达超高真空区间,适配科研实验、薄膜制备、表面分析等场景,支持不破坏真空完成样品更换,运行稳定可靠。

PLD 脉冲激光沉积系统
PLD 脉冲激光沉积系统为科研薄膜制备专用设备,整机集成不锈钢多通真空腔体、真空机组与独立电控柜,搭载长行程样品传样机构,可在不破坏真空状态下更换样品。腔体采用精密真空焊接,CF 金属密封,极限真空性能优异,支持样品加热与多路气路调控。设备模块化设计,可按需拓展功能,运行稳定,适用于氧化物、功能薄膜生长,广泛用于高校实验室、材料科研领域。

超高真空实验系统
超高真空实验系统配置单台分子泵,极限真空可达 10⁻⁷Pa,自带样品过渡仓,可在不破坏腔体真空下完成样品取放。支持选配加热、低温、各类真空驱动模块,满足镀膜、高低温测试及样品位移调节。采用真空焊接工艺,经精密检漏,耐高温耐腐蚀,支持定制。三维建模一对一设计,方案阶段免费,腔体可选多类材质,漏率达标,多种表面工艺可选,适配科研真空腔体、真空探针台等项目。
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