普发真空(Pfeiffer Vacuum)MiniGauge 数字真空规系统
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摘要
普发真空 MiniGauge 数字真空规系统采用模块化结构,测量精度高,信号抗干扰强,支持数字输出,可多台组网实现多点真空压力监测。量程覆盖广,响应迅速,可搭配多种规头,安装小巧便捷。设备运行稳定可靠,广泛应用于真空镀膜、半导体设备、科研实验、分析仪器等工况,实时监测腔体真空度,满足工业及实验室真空测控需求。
产品介绍
普发真空(Pfeiffer Vacuum)MiniGauge 数字真空规系统,是真空系统中用于压力测量的仪器。
它由显示单元(灰色主机)和 MiniGauge 真空传感器(红色部件)组成,可覆盖从大气压到高真空的宽范围压力监测,显示单元支持数据读取、存储与通讯,传感器体积小巧、安装便捷,适配实验室、真空镀膜、半导体设备等场景,是真空系统压力检测的核心部件之一。


普发 OmniControl 200 桌面真空控制单元,内置集成电源,搭载数据选项与 1 路真空计 / IO 通道,配套 ActiveLine TPR280 皮拉尼真空规,DN16 KF 接口,标配 3 米标准连接电缆。支持 RS485 通讯,3.5 寸触控屏操作,可监测真空压力,适配普发分子泵联动控制。用于真空镀膜、分析仪器、科研真空设备,安装便捷,数据采集稳定可靠。
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