普发真空 HiCUBE 系列集成式高真空抽气机组
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摘要
普发真空 HiCUBE 系列集成式高真空抽气机组,采用模块化一体设计,机身紧凑适配全场景真空应用。配备触控大屏,操作直观简易,支持网络服务器远程管控。整机工艺扎实坚固、运行稳定可靠,集成分子泵与前级泵,即插即用、抽速范围广,适配科研实验、半导体及真空镀膜等高真空工况。
产品介绍
普发真空 HiCUBE 系列集成式高真空抽气机组。它集成涡轮分子泵与前级泵,采用红色机架紧凑设计,配备可视化操作界面,可快速获得高真空环境,适配科研、半导体等场景的真空抽气需求,具备安装便捷、运行稳定的特点。

普发真空 HiCUBE 系列集成式高真空抽气机组的工程尺寸图。它包含正视图、侧视图、俯视图,标注了设备的关键安装与外形尺寸,用于指导设备安装、空间布局与系统集成适配,是科研、半导体等场景真空系统设计的核心技术图纸。


本设备适用于真空领域静态与动态校准,校准范围覆盖 1013 至 10⁻⁴ hPa。操作流程简洁易懂,试验室严格遵循 ISO/TS 3567 标准规范。可搭载至多 3 个中等精度参考变送器,DAkkS 认证变送器可单独选配。整机布局灵活适配性强,还支持定制化系统方案,满足科研检测与工业真空校准多元需求。
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