普发集成式真空机组
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摘要
普发集成式真空机组：紧凑集成设计 + 低振静音，涡轮泵驱动实现超高真空，搭载嵌入式控显模块操作便捷。适配半导体镀膜、实验室中小腔体真空场景，大幅简化安装运维，匹配精密真空工艺需求。
产品介绍
普发集成式真空机组：核心优势为紧凑集成省空间、低振静音适配精密场景、嵌入式控显模块操作便捷；原理是内置涡轮分子泵高速旋移捕获气体，协同前级泵完成抽排以构建真空；特性含脚轮便携、接口适配中小腔体；性能可实现超高真空极限；适配半导体镀膜、实验室中小腔体真空工艺。
普发 BD 系列罗茨泵抽速性能图来了！涵盖 D100/D300/D600 A 多型号，0.001-10hPa 宽压域抽速超稳定 ——D600A 峰值近 700m³/h，按需选款适配不同真空工况。双转子无接触设计 + 无油洁净，适配精密场景；宽压域抽运，联动前级泵更省心，半导体、镀膜、实验室低中真空工艺闭眼入！
普发真空（Pfeiffer Vacuum）BD 系列隔膜泵的抽速特性曲线。
图中展示了 BD 0100 A、BD 0300 A、BD 0600 A 三款型号的隔膜泵，在不同入口压强（单位：Torr）下的抽速（单位：ACFM）变化关系，属于体现其真空性能的技术曲线类资料，帮助用户理解不同型号隔膜泵在各类压强区间的抽气能力。
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