普发真空（Pfeiffer Vacuum）MiniGauge 数字真空规系统

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关键词：可接入 PLC 控制系统

摘要

 普发真空 MiniGauge 数字真空规系统
普发 Pfeiffer Vacuum MiniGauge 紧凑型数字真空规系统，集成传感与数字化信号输出，压力测量精度高，抗干扰性能优异。结构小巧，安装便捷，适配 KF 真空接口，可接入 PLC 实现在线真空监测。广泛用于镀膜、分析仪器、半导体真空设备，可直接替换旧规，适用于新机配套与设备维修更换，是工业真空压力监测可靠组件。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）MiniGauge 数字真空规系统，是真空系统中用于压力测量的设备。

它由显示单元（灰色主机）和 MiniGauge 真空传感器（红色部件）组成，可覆盖从大气压到高真空的宽范围压力测量，显示单元支持数据读取、存储与通讯，传感器体积小巧、安装便捷，适配实验室、真空镀膜、半导体设备等场景，是真空系统压力监测的核心部件之一。

可接入 PLC 控制系统

普发真空 OmniControl 200 真空计成套套件（PKR361 DN25KF）

普发 Pfeiffer OmniControl 200 桌面真空控制单元，内置集成电源，搭载数据采集与 1 路真空计 IO 通道。配套 ActiveLine PKR361 全量程真空规，DN25 KF 法兰，含 3 米标准连接电缆。皮拉尼 + 冷阴极复合测量，测量范围 1E-9~1000hPa，适配镀膜、半导体真空系统，整机成套，便于现场安装替换与真空设备维修。

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